核心特点

1. 超低水氧环境

• 采用多级净化系统（分子筛+催化除氧+循环纯化），箱体内水氧浓度长期稳定＜0.1ppm，满足超薄薄膜生长和敏感材料处理需求。

• 可选配实时水氧分析仪，数据记录与报警功能。

2. 多工位协同设计

• 支持蒸镀源、基片加热、等离子清洗、磁控溅射等多模块集成（按需定制），工位间通过内部传递舱隔离，避免交叉污染。

• 标配3-6个独立工位（可扩展），兼容手套操作或机械臂自动化传输。

3. 真空镀膜一体化

• 手套箱与高真空蒸镀腔体无缝对接，通过过渡舱实现样品真空传递，避免大气暴露。

• 兼容热蒸发、电子束蒸发等工艺。

4. 人性化与安全设计

• 定制化布局：根据用户车间空间与工艺流线优化尺寸及工位排布。

• 防爆视窗、紧急泄压阀、气体泄漏监测，符合CE/ISO安全标准。